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400-9904-119专利摘要显现，本发明归于真空封装办法的结构设计与制备办法，详细触及一种非制冷红外探测器的阵列及其真空封装办法，经过堆积、图形化、旋涂、刻蚀、镀膜等技能的运用使得微盖支撑层和增透膜层一起构成密闭微盖，在中空锚柱孔内构成支撑柱，支撑柱对微盖构成支撑，像元阵列结构全体封装在密闭微盖内，微盖内为满意探测器结构作业的真空环境，有很大成效防止的微型真空腔腔内无支撑的问题，处理了真空腔易决裂的问题，进步了阵列级真空封装的可靠性，具有十分杰出的使用远景。
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